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蔡司三坐標測量儀與傳統方法的不同之處在于蔡司三坐標能夠同時測量尺寸和形狀。 三坐標測量機將被測量對象作為離散點集合，針對不同的被測量對象或要求，測量從該集合采集的數量不同的幾個離散點，由此代替該被測量對象經過計算確定被測對象的尺寸和形狀。測量工件前，首先要將探針在標準球上校準，以消除由于環境條件變化所產生的探針半徑誤差對測量結果的影響，然后根據工件的設計基準或工藝基準，找正工件坐標系，而對工件的裝夾和調整幾乎沒有要求，只有在測量中工件能保持穩定即可。
蔡司三坐標測量儀
位置誤差是關聯被測實際要素對基準要素的變動量，由于實際零件的基準也存在有形狀誤差，因而常規測量中需模擬基準要素，通常采用具有足夠形狀的表面，使基準實際要素與模擬基準間形成符合zui小條件的相對位置關系。
用蔡司三坐標測量時，只用在工件上測出若干個點的坐標值，再由計算機計算出平行誤差即可，測量精度取決于蔡司三坐標的精度，與工件的放置位置無關，因而與被測零件的實際情況更為接近。