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臭氧又稱富氧、三氧、超氧等。臭氧是一種有特殊腥味的藍色氣體，比重比空氣大，化學式為O3，比氧分子多了一個活潑的氧原子，易分解，活潑性強。具有極強的氧化性。
臭氧的殺菌原理：空氣中含有一定濃度的臭氧（2∽15ppm），對細菌、病毒等微生物內部結構有極強的氧化破壞性，可達到殺滅細菌繁殖體、芽孢、甲乙型肝炎病毒、真菌和原蟲胞囊等各種細菌，還可以破壞肉毒桿菌的毒素及立克次氏體等。同時，臭氧還具有很強的除酶、去腥、除臭等有機異味的功能，臭氧可迅速殺滅空氣中的細菌，在殺菌后還原成氧，沒有任何殘留和污染，被稱為綠色環保殺菌劑。臭氧會自行分解，常溫下大約三十分鐘就變成氧氣。臭氧是世界公認的廣譜、高效殺滅菌劑。在滅菌消毒中名列榜首，具有極強消毒、滅菌、除臭和除異味的能力。
臭氧的安全性：在1-5ppm濃度下，人短時間逗留（1-2分鐘內），幾乎沒有影響；若長時間（每天8小時）在臭氧環境下，濃度不應超過0.05ppm。