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該真空導(dǎo)入器產(chǎn)品采用高品質(zhì)的焊接波紋管，保證十萬次以上的循環(huán)使用，軸向驅(qū)動力可達到150N，在保證超高真空密封的同時，通過手動調(diào)節(jié)手輪（或電機驅(qū)動），實現(xiàn)高精度的直線驅(qū)動，精確位置控制，安裝角度自由；根據(jù)客戶要求，可以制作各種驅(qū)動長度。有波紋管內(nèi)置型、波紋管外置型和中空型三種結(jié)構(gòu)，客戶根據(jù)使用要求選用。
主要參數(shù)
適用范圍：  105～5x10-7Pa
真空漏率：  ≤1x10-10Pa.m3/s
適用溫度： -30～300℃
驅(qū)動方式： 手動
驅(qū)動方向：  直線
安裝狀態(tài)：  任意方向
連接方式： CF法蘭或客戶指定
主要零件材料
焊接波紋管  316L
刻度圓柱  304
進給刻度盤 LV12陽極化
訂貨型號 接口法蘭 驅(qū)動距離(mm)  精度(mm)  L（mm） R/E(mm)  A(mm)  B(mm)  C(mm)  D(mm)  K(mm)
LMF-N-CF35-50  CF35  50  0.02/0.01 130  56/106  34  70  47  M4X10  24
LMF-N-CF35-100  CF35  100  0.02/0.01 180  76/176  34  70  47  M4X10  24
LMF-N-CF35-150  CF35  150  0.02/0.01 230  96/246  34  70  47  M4X10  24
根據(jù)客戶要求，可以制作各種驅(qū)動長度
訂貨型號 接口法蘭 驅(qū)動距離S(mm)  精度(mm)  L
（mm） A
(mm)  B
(mm)  C
(mm)  MD x K
(mm)
LMF-S-CF16-50  CF16  50  0.02/0.01 184  11  34  45  M5x12
LMF-S-CF16-100  CF16  100  0.02/0.01 255  11  34  45  M5x12
LMF-S-CF35-50  CF35  50  0.02/0.01 156  12  70  47  M6x12
LMF-S-CF35-100  CF35  100  0.02/0.01 230  12  70  47  M6x12
LMF-S-CF35-150  CF35  150  0.02/0.01 310  12  70  47  M6x12
根據(jù)客戶要求，可以制作各種驅(qū)動長度
訂貨型號 接口法蘭 驅(qū)動距離(mm)  精度(mm)  R/E（mm） A(mm)  B(mm)  C(mm)  D(mm)  K(mm)
LMF-Z-CF16-50  CF16  50  0.02 83/133  64  195  100  16 20
LMF-Z-CF16-100  CF16  100  0.02 105/205  64  265  100  16 20
LMF-Z-CF35-50  CF35  50  0.02 85/135  101  190  122  35 15
LMF-Z-CF35-100  CF35  100  0.02 105/205  101  260  122  35  15
LMF-Z-CF50-50  CF50  50  0.02 90/140  116  192  151  50  15
LMF-Z-CF50-100  CF50  100  0.02 110/210  116  262  151  50  15
LMF-Z-CF63-50  CF63  50  0.02 101/151  150  218.5  195  63  20
LMF-Z-CF63-100  CF63  100  0.02 121/221  150  289  195  63  20
LMF-Z-CF100-50  CF100  50  0.02 112/162  195  250  256  100  21
LMF-Z-CF100-100  CF100  100  0.02 132/232  195  320  256  100  21
根據(jù)客戶要求，可以制作各種接口及驅(qū)動長度